Vergleich mit anderen Untersuchungsmethoden

Rasterkraft- Profilometer Optische Elektronen- mikroskopie Mikroskopie mikroskopie
Auflösung ? / ? ?µm / ? ?µm / ? 5nm / ?
Gesichtsfeld 100 µm > 1 cm 10µm - ¥ > 1cm
Messzeit 1 min > 1 min 10 ms 100 ms
Messgrössen Topographie Topographie Brechungs- Elektronen- Elastische index absorption Konstanten Materialdicke Elektronen- Reibung rückstreu- Adhäsion vermögen Ladungen

Vorherige Folie Nächste Folie Zurück zur ersten Folie Graphik-Version anzeigen