<%@ Language=JavaScript %> Elektrostatische Relais mit Mems

Mems Relais
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Mechanische und elektrische Eigenschaften von Relais

Projektleiter: Othmar Marti

Hintergrund

Durch die Miniaturisierung von Relais können höhere Schaltgeschwindigkeiten sowie eine wesentlich verkleinerte Bauform erzielt werden.

Frage

Was heisst MEMS?

Zitate

Elektrostatisches Relais Northeastern University (auch PDF)
Artikel über elektrostatisch angetriebene Resonatoren
Mems-Relais zum Schalten von Mikrowellen
Übersicht
Diskussionsbeitrag zu Relais
Datenblatt
MEMS in Europa
Mikromechanische Fliege (Zur Unterhaltung)

Filmchen und Bilder

Zahnräder (1,2,3,4)
Dynamometer (1,2)
Käfer auf Zahnrad
Silizium-Relais
Kammantrieb (1,2,3)
Räder (1,2,3)
 

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(c) Experimentelle Physik, Universität Ulm 04. Dezember 2001
V.i.S.d.P.: Othmar Marti, Experimentelle Physik, Universität Ulm
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