Elemente eines Rasterelektronenmikroskopes

**Abbildung 4.326:** Schematischer Aufbau eines Elektronenmikroskopes
$\begin{figure} \centering \protect{\includegraphics[width=60mm]{Bilder_mm/mm-084}} \end{figure}$

Ein Rasterelektronenmikroskop (Abb. 4.326) besteht aus einer Elektronenquelle, einer Kondensorlinse sowie einer Objektivlinse. Ablenkspulen rastern den Elektronenstrahl.

**Abbildung 4.327:** Aufbau einer Wolframdrahtkathode und rechts ein Detailbild der Kathode
$\begin{figure} \centering \protect{\includegraphics[width=60mm]{Bilder_mm/mm-... ...{5mm} \protect{\includegraphics[width=60mm]{Bilder_mm/mm-085-1}} \end{figure}$

**Abbildung 4.328:** Links eine normal durchgebrannte Wolframkathode und rechts eine übersättigte Wolframkathode (mit zu grossem Strom betrieben)
$\begin{figure} \centering \protect{\includegraphics[width=30mm]{Bilder_mm/mm-... ...5mm} \protect{\includegraphics[width=30mm]{Bilder_mm/mm-085a-2}} \end{figure}$

**Abbildung 4.329:** Links die Überwachung der Fadensättigung in einem TEM mit Hilfe eines projizierten Fleckes auf einem Phosphorschirm und rechts ein Bild des Fadenstromes eines REM auf einem Oszilloskopschirm.
$\begin{figure} \centering \protect{\includegraphics[width=70mm]{Bilder_mm/mm-085b}} \end{figure}$

**Abbildung 4.330:** Bild einer -Quelle. Hier wird eine -Kristall von Wolfram- oder Rhenium-Drähten gehalten.
$\begin{figure} \centering \protect{\includegraphics[width=50mm]{Bilder_mm/mm-085c}} \end{figure}$

**Abbildung 4.331:** Bild einer Feldemissionskathode. Dabei wird, analog zu einem STM, eine zugespitzte Wolframnadel als Emitter verwendet.
$\begin{figure} \centering \protect{\includegraphics[width=80mm]{Bilder_mm/mm-085d}} \end{figure}$

Die Kathode besteht entweder aus Wolframdraht (Abbildungen 4.327-4.329) mit Glühemission, einer

-Quelle (Abb. 4.330) oder einer Feldemissionsquelle (Abb. 4.331). Der Unterschied der Quellen besteht in ihren gegen die Feldemissionsquelle abnehmenden Energieunschärfe den erzeugten Elektronen. Die Feldemissionskathode benötigt, anders als die anderen Kathoden, Ultrahochvakuum zum Betrieb.

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