Optimierung der Röntgenmikroanalyse

Der Detektorabstand und das Aufnahmewinkel (Abb. 4.377) bestimmen ob stark oder weniger absorbierte Röntgen-Photonen gemessen werden. Ebenso beeinflusst die Neigung der Probe, ob die Röntgenstrahlen mehr oder weniger absorbiert werden (Abb. 4.378).

**Abbildung 4.378:** Optimierung von Probenneigung und Aufnahmewinkel für die Röntgenmikroanalyse
$\begin{figure} \centering \protect{\includegraphics[width=60mm]{Bilder_mm/mm-138}} \end{figure}$

Der Raumwinkel hängt vom Abstand des Detektors von der Probe sowie dem Abstand vom Elektronenstrahl ab (Abb. 4.379 und 4.380).

**Abbildung 4.379:** Optimierung von Detektorabstand und Raumwinkel für die Röntgenmikroanalyse
$\begin{figure} \centering \protect{\includegraphics[width=60mm]{Bilder_mm/mm-139}} \end{figure}$

**Abbildung 4.380:** Detektorabstand und Raumwinkel bei grossem Abstand
$\begin{figure} \centering \protect{\includegraphics[width=60mm]{Bilder_mm/mm-140}} \end{figure}$