Nahfeldoptik mit fast-atomarer Auflösung
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Nahfeldoptik mit fast-atomarer Auflösung
Photobleaching in SNOM
SNOM Polymeren

Nahfeldoptik mit fast-atomarer Auflösung

O. Marti, Abt. Experimentelle Physik, Universität Ulm, D-89069 Ulm E-Mail
G. Krausch, Fakultät für Physik, Universität Konstanz, D-78434 Konstanz

Inhaltsverzeichnis

Zusammenfassung
Einführung
Von Walkmans und anderen Apertur-Mikroskopen
Das Apertur-SNOM
Alternativen zum Apertur SNOM
Referenzen
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Zusammenfassung

Nahfeld-optische Techniken werden intensiv erforscht und verbessert, um eine wesentlich höher ortsauflösende optische Mikroskopie zu erhalten. Anwendungen der Nahfeld-optischen Mikroskopie reichen von festkörperphysikalischen Problemen bei tiefen Temperaturen über Untersuchungen an Halbleiterproben bis zu biologischen Fragestellungen. Eine ungelöste Frage ist dabei die maximal mögliche Auflösung. In diesem Beitrag möchten wir an ausgewählten Beispielen aufzeigen, welche Konzepte verfolgt werden. Ihre Stärken und Schwächen werden kritisch analysiert und unsere subjektive Wertung des Entwicklungspotentials gegeben.

1. Einführung

Der Gesichtssinn ist für die meisten Menschen dominierend in der Erfassung der Umwelt. Kein anderer Sinn liefert eine solch breite Information. Neben Helligkeit und Farbe ist es besonders die räumliche Auflösung, die die Erkenntnis der Umwelt verbessert hat. Schon früh in der Geschichte der Physik wurden Hilfsmittel erfunden, um kleinere oder weit entfernte Gegenstände noch sehen zu können. Neben Galilei's Teleskop war es vor allem das Mikroskop Leuvenhook's, das der Menschheit neue Räume und Dimensionen erschlossen hat. Schon bald wurden Mikroskope sehr leistungsfähige Apparate, ohne die gerade biologische und medizinische Labors nicht denkbar waren.

Im neunzehnten Jahrhundert stellte sich erstmals die Frage der maximal erreichbaren räumlichen Auflösung optischer Mikroskope. Die Entdeckung der Wellennatur des Lichtes und die konsequente Anwendung der daraus folgenden Prinzipien erlaubten schließlich Abbe, eine noch heute gültige Theorie der mikroskopischen Abbildung zu entwickeln. Eine zentrale Entdeckung Abbe’s war, daß die Wellennatur des Lichtes die räumliche Auflösung optischer Verfahren begrenzt. Abbe’s Gleichung

Abbes Gleichung

besagt, daß der minimale, mit optischer Mikroskopie noch auflösbare Abstand zweier Objekte, Dx, proportional zur Wellenlänge und invers proportional zur numerischen Apertur NA ist. Folglich müssen für eine höchstauflösende Abbildung möglichst hohe räumliche Frequenzen des Lichtes verwendet werden. Für sichtbares Licht ist die räumliche Auflösung optischer Mikroskope auf ca. 500 nm beschränkt.

Bekanntlich wurden im Laufe unseres Jahrhunderts verschiedene alternative Mikroskopiertechniken entwickelt (Elektronenmikroskopie, Rastertunnelmikroskopie, Rasterkraftmikroskopie), welche eine räumliche Auflösung bis in den atomaren Bereich ermöglichen. Diese Verfahren sind jedoch hinsichtlich ihrer Kontrastmöglichkeiten und ihrer Einsatzmöglichkeiten zur Abbildung organischer Materie sehr eingeschränkt und lassen - insbesondere im Bereich der Biologie und Medizin - viele Wünsche offen. Es bleibt demnach die Frage nach der Möglichkeit höchstauflösender optischer Verfahren, die das Abbe'sche Auflösungslimit unterschreiten könnten: Gibt es eine Möglichkeit der optischen Abbildung mit einer fast atomaren Auflösung?

2. Von Walkmans und anderen Apertur-Mikroskopen

Wenn Sie stolzer Besitzer eines Walkmans sind, können Sie sich selbst überzeugen: Musik in einem Baßbereich mit einer Frequenz von 100 Hz hat eine Wellenlänge von 3 Metern. Da Abbe’s Gesetze für alle Wellen gelten, also auch für Schallwellen oder quantenmechanische Wellenfunktionen, darf es keinen Unterschied machen, ob der Lautsprecher direkt über dem Ohr sitzt oder ob er um 3 cm verschoben ist. Ihre Erfahrung zeigt aber, daß der Musikgenuß bei verschobenem Kopfhörer ungleich schlechter ist. Eine mögliche Interpretation dieses Experimentes ist, daß Sie den Ort des Kopfhörers auf 1 cm=Lambda/300 genau lokalisieren können. Ist es möglich, ein optisches Mikroskop basierend auf dem "Kopfhörerprinzip" aufzubauen? Es lohnt sich, das Kopfhörerexperiment noch ein bißchen genauer unter die Lupe zu nehmen. Sitzen Sie im Zug neben einem begeisterten Walkmanhörer, so können Sie die abgespielte Musik nur undeutlich wahrnehmen. Sie hören die hohen Töne, aber nicht die tiefen. Warum? Lautsprecher sind strahlende akustische Dipole. Da das Schallsignal vorne und hinten mit 180 Phasenverschiebung erzeugt wird, werden tiefe Frequenzen automatisch kurzgeschlossen, hohe nicht. Das bedeutet, daß das Schallfeld in der Nähe anders zusammengesetzt ist als in der Ferne. Es gibt einen nicht propagierenden Nahanteil und einen sich ausbreitenden Fernanteil. Nur im Nahanteil, oder wie man sagt, im Nahfeld, ist die volle Information vorhanden.

Damit können wir Konzepte aufstellen, die zu einer höchstauflösenden optischen Mikroskopie führen. Erstens müssen wir auf eine freie Ausbreitung von Licht verzichten. Wir müssen einen Punkt abbilden. Dies wird mit propagierendem Licht im konfokalen optischen Mikroskop realisiert. Die Auflösung kann, unter Berücksichtigung der Transmission im Mikroskop auf etwa Lambda/3 gesteigert werden.

Eine extrem hohe Auflösung erreicht man, wenn Licht im Nahfeld erzeugt, gestreut oder detektiert wird. Äquivalent zu unserem "Kopfhörer"-Beispiel ist eine Beleuchtung der Probe durch eine Apertur, deren Durchmesser bedeutend kleiner als die Wellenlänge des Lichtes ist. Synge /1/ hat diese zu seiner Zeit nie realisierte Anordnung bereits 1928 in einem Briefwechsel mit Einstein vorgeschlagen. Seine theoretische Arbeit zeigt, daß wenige Nanometer große Objekte mit sichtbarem Licht abbildbar sein müßten. Die Physik der Transmission elektromagnetischer Wellen durch kleine Löcher in Metallen wurde im Zusammenhang mit Störproblemen beim Rundfunk oder bei Mikrowellenapparaturen wichtig. Rechenprogramme zur Nahfeldoptik können deshalb bei Elektrotechnikern gefunden werden. Erstmals wurden Nahfeldeffekte zur Mikroskopie im Mikrowellenbereich verwendet /2/. Dürig, Fischer und Pohl /3/ erweiterten und verfeinerten die Technik so, daß sie auch für sichtbares Licht genutzt werden konnte. Anders als bei der Rastertunnelmikroskopie sind eine Fülle von möglichen Mikroskopaufbauten publiziert worden /3/,/4/,/5/,/6/. Skizzen typischer Aufbauten wrden in Abbildung 1 gezeigt.

a) b)
c) d)
Abbildung 1: Skizze der möglichen Betriebsarten eines nahfeldoptischen Mikroskopes. Von links: Nahfelddetektion durch eine Apertur, sub- mikroskopischer Detektor, sub-mikroskopische Lichtquelle, Streuung an dem gekoppelten System Detektor-Probe.

Aperturen mit einigen wenigen Nanometern Durchmesser können beispielsweise durch Bedampfen angespitzter Glasfasern hergestellt werden. Glasfasern werden in einem Pipettenziehgerät zu Spitzen ausgezogen, deren Krümmungsradius kleiner als 100 nm ist. Anschließend werden sie mit einem Metall bedampft. Meist wird Aluminium verwendet, da die Eindringtiefe von sichtbarem Licht mit etwa 6 Nanometern minimal ist. Die Faserspitze wird nun auf eine Piezo- Rastereinheit montiert. Ähnliche Steuerelektroniken wie bei der Rasterkraftmikroskopie und der Rastertunnelmikroskopie dienen zum Abtasten der Probe. Diese wird meistens durch die Faserspitze beleuchtet/7/,/8/. Ähnlich wie beim Kopfhörer muß der Abstand zwischen Quelle und Probe kleiner als der Aperturdurchmesser sein. Für das Nahfeld-optische Mikroskop (engl.: scanning near-field optical microscope, SNOM) heißt dies, daß die Apertur (auf einer Faserspitze) auf einer Distanz von einigen Nanometern zur Probenoberfläche gehalten werden soll. Dies wird bei einem SNOM durch einen der Nicht- Kontakt Kraftmikroskopie entlehnten Aufbau realisiert: Die Faserspitze wird parallel zur Probenoberfläche zu Eigen schwingungen angeregt. Einige 10 nm über der Probe sorgt die Wechselwirkung der Spitze mit der Probenoberfläche für eine effektive Dämpfung dieser Schwingung/9/. Obwohl es bis heute nicht gelungen ist, den oder die Dämpfungsmechanismen eindeutig zu identifizieren, wird diese sog. Scherkraft- Abstandsregelung erfolgreich eingesetzt, um den für die Nahfeld-optische Messung notwendigen konstanten Abstand zwischen Spitze und Probe einzustellen. Auf diese Weise wird zusätzlich zur Nahfeld-optischen Messung die Oberflächentopographie der Probe kraftmikroskopisch vermessen. Die Auflösung von Nahfeld-optischen Mikroskopen wird üblicherweise in Bruchteilen der Lichtwellenlänge angegeben. Diese Angabe erlaubt einen Vergleich mit klassischen optischen Mikroskopen. Sie ist aber nicht sehr sinnvoll, da eine bestimmte Apertur völlig unabhängig von der Lichtwellenlänge die gleiche räumliche Auflösung erreicht. Gut geeignet zur Evaluation sind nicht-periodische Strukturen, wie zum Beispiel Schriften. Buchstaben, wie in Abbildung 2 gezeigt, sind bei ungenügender Auflösung nicht lesbar. Aus Abbildung 2 kann auf 100 nm Ortsauflösung geschlossen werden.Ð

a) b)
Abbildung 2: Eine mögliche Definition von Auflösung beruht auf der Fähigkeit nichtperiodische Objekte wie Buchstaben abzubilden. Hier ist eine Testprobe aus Cornell, deren kleinste sichtbare Buchstaben 500 nm hoch sind. Teil a) zeigt die Topographie, Teil b) das reflektierte Licht.

3. Das Apertur-SNOM

Die zu untersuchende Oberfläche kann durch die Apertur beleuchtet werden, die Apertur kann die Streukomponenten externer Lichtquellen auffangen oder sie dient gleichzeitig als Quelle und Detektor /7/,/8/. Licht aus der Wechselwirkungszone des SNOM wird entweder durch Photodioden oder Photoelektronenvervielfacher gemessen oder aber in einem Spektrometer analysiert. Da die Transmission einerseits mit einer hohen Potenz des Aperturdurchmessers abfällt und ander erseits bei einer Beleuchtung durch die Faser Intensitäten über einem Milliwatt zur Zerstörung der Apertur führen, muß man mit äußerst geringen Intensitäten arbeiten. Es ist wünschenswert, daß die Meßzeit pro Bildpunkt zwischen 1 und 100 ms beträgt. Hochwertige Lichtdetektionssysteme sind für die Nahfeldoptik unabdingbar.

Die Tatsache, daß das Licht im Nahfeld einer bedampften Glasfaserspitze tatsächlich auf eine Ausdehnung weit kleiner als die Wellenlänge begrenzt werden kann, läßt sich unmittelbar beobachten, wenn man die Faserspitze zur lokalen Belichtung einer photosensitiven Schicht verwendet/10/. Dieses als "Nahfeld-Lithographie" bezeichnete Verfahren wurde angewendet, um feinste Linien in einen konventionellen Photolack zu schreiben. Abbildung 3 zeigt die Oberfläche einer solchen Probe, welche nach Belichtung und Entwicklung mit Hilfe eines Rasterkraftmikroskops abgebildet wurde. Man erkennt Linien einer Breite von ca. 80 nm; da die Belichtung mit der Lambda =454 nm Linie eines Ar-Ionenlasers vorgenommen wurde, entspricht dies einer Auflösung von Lambda/5.5.

Nahfeldoptische Lithographie Abbildung 3: Mit der Nahfeld-optischen Lithographie kann das aus einer Faserspitze austretende Lichtfeld direkt vermessen werden. Hier wird eine Auflösung von 70 nm erreicht.

Verwendet man die angespitzte optische Faser sowohl zur Beleuchtung als auch zur Detektion des Lichtes im optischen Nahfeld, so stellt man fest, daß die zur Abbildung beitragende Fläche bedeutend kleiner ist als die im Nahfeld beleuchtete Fläche. Diese Tatsache einer verringerten "effektiven Aperturgröße" bei zweifachem Passieren der nanoskopischen Apertur kann man ausnutzen, um auch mit unbedampften Faserspitzen Subwellenlängenauflösung zu realisieren. Diese Methode wurde kürzlich angewandt, um die Domänenstruktur eines phasenseparierenden Films einer binären Polymermischung zu untersuchen. Den Autoren gelang es, mit Hilfe der SNOM-Technik zweidimensionale Phasentrennung über mehrere Dekaden in der Zeit zu verfolgen und damit erstmals ein theoretisch vorhergesagtes Skalengesetz zu verifizieren/11/.

Abbildung 4 zeigt die mittlere Domänengröße als Funktion der Zeit nach dem Quench ins Zweiphasengebiet in doppelt logarithmischer Auftragung. Die Daten zeigen deutlich, daß die Domänengröße im untersuchten Zeitbereich wie t1/3 zunimmt. Da die Domänen zu frühen Zeiten nur etwa 100 nm groß sind, wäre eine solche Untersuchung mit konventioneller optischer Mikroskopie nicht möglich. Zudem gelang es den Autoren durch gleichzeitige Messung der Probentopographie (durch Scherkraft- Distanzregelung), die verschiedenen Domänen anhand ihrer ver schiedenen Oberflächenenergien zu identifizieren.

Polymer-Skalengesetz Abbildung 4: Bestimmung der Domänengrösse von Polymermischungen bestimmt durch ein Nahfeld-optisches Mikroskop.

Eine Variante der Apertur-Nahfeldoptik verwendet evaneszente Wellen zur Beleuchtung der Probe. Dies erlaubt eine starke Konzentration der Lichtintensität an der Probenoberfläche. Die Interpretation der Meßdaten wird oft durch Interfrequenzen erschwert. Eine weitere Variante arbeitet mit Kraftmikroskop balken aus Silizium im Kontaktmodus/12/. Durch das gut bekannte Verhalten des Kraftmikroskopes sind solche Geräte leicht handhabbar. Die nicht unerheblichen Kontaktkräfte können jedoch bei empfindlichen Proben Veränderungen hervorrufen. In der Kraftmikroskopie werden diese Veränderungen durch den "Nicht-Kontakt-Modus" vermieden. Eine Kombination von SNOM und dem "Nicht-Kontakt-Modus" ist denkbar, scheitert zum gegenwärtigen Zeitpunkt jedoch daran, daß keine transparenten, steifen Kraftmikroskopbalken erhältlich sind.

4. Alternativen zum Apertur SNOM

Die Auflösung des Apertur-SNOMs ist begrenzt. Löcher können nicht beliebig klein gemacht werden. Die optischen Aperturen sind jeweils zweimal um die Eindringtiefe des Lichts in die Metallbeschichtung vergrößert. Mit Aluminium und einem hypothetischen Lochdurchmesser von 0 wird die kleinste mögliche optische Apertur 12 nm.

Sind zwölf Nanometer die Auflösungsgrenze? Nein, denn es gibt mehrere Möglichkeiten alternativer nanoskopischer Lichtquellen oder -detektoren. Wenn wir eine ultrakleine Lichtquelle suchen, dann wäre es unter Umständen möglich, die Fluoreszenz einzelner, an einer Spitze angebrachter Moleküle anzuregen, so wie von Lewis und Kopelman/13/ vorgeschlagen. Gegenwärtig ist das noch ungelöste Hauptproblem die begrenzte Lebensdauer der Moleküle. Der zur Fluoreszenz auf einer anderen Wellenlänge notwendige Energieverlust wird nicht oder nur ineffizient in die Spitze abgegeben. Die Wärmebelastung der Moleküle bewirkt dann ein Ausbleichen der Fluoreszenz. Alternativ könnte man sich nanometergrosse lumineszierende oder fluoreszierende Festkörperstrukturen vorstellen.

Wenn keine kleine Lichtquelle realisierbar ist, dann wären vielleicht ultrakleine Sensoren machbar. Mertz und Mitarbeiter haben gezeigt/12/, daß Licht kraftmikroskopisch detektierbar ist, indem die in einer ultrafeinen Siliziumspitze induzierten elektrischen Ladungen über die Kraftwechselwirkung abgefragt wird. Die erreichte Auflösung ist wesentlich durch die Spitzenform bestimmt. Es müßte möglich sein, sehr viel schlankere Strukturen aus Silizium herzustellen. Ein Vorteil ist dabei, daß der kraftmikroskopische Sensor nicht kontaktiert werden muß.

Eine weitere, von zwei Gruppen gezeigte Lösung, beruht auf dem Babinet'schen Prinzip. Die Wechselwirkung zweier Kombinationen geometrischer Strukturen mit Licht ist auch komplementär: das heißt, die Streuung an einem Loch ist gleich eins minus der Streuung an der das Loch auffüllenden Scheibe. Im Nanometerbereich gilt dieses Prinzip natürlich nur insoweit, als daß die Eindringtiefe vernachlässigt werden kann. Nichtsdestotrotz kann eine streuende Scheibe unter Inkaufnahme von Verlusten bis zu den Dimensionen eines Atoms verkleinert werden. Entsprechend, so die theoretische Voraussage, sollte es möglich sein, sogar atomar aufgelöste optische Bilder zu messen. Warum wird diese Technik nicht weitverbreitet angewandt?

Die Hauptschwierigkeit der Nahfeld-optischen Mikroskopie mit Streumethoden liegt bei der Detektion eines äußerst schwachen Streusignals in der Gegenwart eines starken, die Streuung anregenden Lichtfeldes. Die Streuung an einem Rayleigh- Teilchen ist bekanntlich proportional zur vierten Potenz des Teilchenvolumen.

Eine erste Implementation des streuenden Nahfeld-optischen Mikroskopes wurde von Pedarnig und Hänsch/14/ vorgestellt. Bei ihrem Mikroskop wurde eine dünne Silberschicht Nahfeld-optisch abgebildet. Licht in Totalreflexionsgeometrie auf Silber angestrahlt, bewirkt bei einem charakteristischen Ein fallswinkel die Anregung laufender Plasmonen. Diese entziehen dem Lichtfeld Energie und wandeln sie letztlich in Wärme um. In einen bestimmten Winkelbereich wird die Reflexion wegen der Plasmonenanregung vollständig ausgelöscht. Ein Detektor im Auslöschungsband detektiert jetzt hintergrundfrei das durch einen nanometrischen Streukörper erzeugte Licht. Pedarnig und Hänsch haben so eine Auflösung von 3 nm demonstriert. Will man keine Plasmonen verwenden, könnte voraussichtlich auch eine Totalreflexion an einem Glasprismen-Luft-Grenzschicht dienen.

Wickramasinghe und Mitarbeiter/6/ haben bei ihren Experimenten zur streuenden NahfeldMikroskopie einen anderen Weg eingeschlagen. Vergleicht man weit weg vom Fokus eines Gauß’schen Strahls die Phase mit der Phase einer Kugelwelle erzeugt am gleichen Ort, so zeigt sich eine Phasendifferenz von 90. Mischt man das Licht im Gauß’schen Strahl mit der von der Streuung herrührenden Kugelwelle, so zeigt die Phase die Stärke der gestreuten Welle an. Um Phasenverschiebung im Grad- oder Sub-Grad-Bereich zuverlässig messen zu können, müssen raffinierte Modulationstechniken angewandt werden.

Wickramasinghe konnte auf die Weise eine Auflösung von 1,5 nm demonstrieren. So wie die Streumethoden heute implementiert sind, ist die Messung energieverschobener optischer Eigenschaften nur schwer denkbar. Hier könnten Farbstoffe eventuell weiterhelfen.
Bis jetzt haben wir Anordnungen betrachtet, bei denen Licht im Fernfeld irgendwie organisiert war. Eine weitere Klasse von Experimenten die wohl Nahfeld-optische Eigenschaften ausnützen, aber zur Tunnelmikroskopie gezählt werden, haben atomare Auflösung gezeigt. Eine frühe experimentelle Einrich tung in dieser Art ist das Lichtmischexperiment von Krieger et al./15/ Die nichtlineare Tunnelkennlinie wird verwendet, um in einer Art nichtlinearem Streuen die Differenzfrequenz von Licht mit zwei Wellenlängen zu detektieren. Da die Leitfähigkeit eines Tunnelüberganges extrem von der lokalen Topographie abhängt, war auf Graphit atomare Auflösung möglich.
Elektronen als Energiespender für eine lokale, plasmonartige Lichtquelle nutzen die Experimente zur inversen Photoemission aus. Ein kleiner Teil der Elektronen tunnelt inelastisch von einer Elektrode zur nächsten. Der entstehende Energieverlust kann als Phonon oder Photon abgegeben werden.

Theoretische Überlegungen zeigen, daß auf Grund der extremen Nahfeldverhaltensweise nur Photonen, die gekoppelte Spitzen- Proben-Plasmonmoden anregen, im Fernfeld detektiert werden können. Eine neue Arbeit von Berndt et al./16/, die in den Physikalischen Blättern Nr 1(51), Seite 8 besprochen wurde, zeigt, daß auch die inverse Photoemission atomare Auflösung hat.

Zusammenfassend kann gesagt werden, daß Nahfeld-optische Methoden das Potential zu atomarer Auflösung haben. Höchstwahrscheinlich muß dabei das konzeptionell so einfache Prinzip des Apertur-SNOM aufgegeben werden. Das bedeutet, daß die Einfachheit mit der mit Aperturen spektroskopische Daten erhalten werden können, nicht mit atomarer Auflösung realisierbar ist. Überzeugende Konzepte zur spektroskopisch aufgelösten Abbildung mit streuenden Sonden existieren noch nicht.

Die Autoren möchten J. Mlynek, H. Bielefeldt, I. Hörsch, und O. Hollricher für anregende Diskussionen danken. Die Autoren wurden durch die Deutsche Forschungsgemeinschaft (SFB 306) sowie das Land Baden-Württemberg (Landesforschungsschwerpunkt) gefördert.

Referenzen

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  2. E. A. Ash and G. Nicholls, "Super-resolution aperture scanning microscope", Nature 237 510-512 (1972).
  3. D.W. Pohl, W. Denk and M. Lanz, "Optical stethoscopy: image recording with a resolution of Lambda/20", Appl. Phys. Lett. 4, 651-653 (1984). U.C. Fischer "Optical
  4. characteristics of 0.1 µm circular apertures in a metal film as light sources for scanning ultramicroscopy", J. Vac. Sci. Technol. B, 3, 386 (1985). U. Fischer, U. Dürig, and D.W. Pohl, "near-field optical scanning microscopy and enhanced spectroscopy with submicron apertures", Scanning Microscopy International, 47-52 (1987). U.C. Fischer and D.W. Pohl, "Observation of single particle plasmons by near field optical microscopy" phys. rev. Lett. 62, 458-461 (1989).
  5. D.W. Pohl and D. Courjon, eds., Prcoceedings NFO1, NATO ASI Series E 242 (1993).
  6. N.F. van Hulst, F.B. Segerink, and B. Bölger, "High resolution imaging of dielectric surfaces with an evanescent field optical microscope", Optics Comm. 87, 212-218 (1992).
  7. F. Zenhäusern, M.P. O’Boyle, and H.K. Wickramasinghe, "Apertureless near-field optical microscope", Appl. Phys. Lett. 65, 1623-1625 (1994). M. Sajer, D. Courjon, K. Sarrayeddine, A. Jalocha, J.-M. Vigoureux, J. Phys (Paris) III 1, 1 (1991).
  8. H. Bielefeldt, I. Hörsch, G. Krausch, M. Lux-Steiner, J. Mlynek and O. Marti, "Reflection-scanning near-field optical microscopy and spectroscopy of opaque samples", Appl. Phys. A 59, 103-108 (1994).
  9. E. Betzig, P.L. Finn, J.S. Weiner, Appl. Phys. Lett. 60, 2484 (1992). R. Toledo-Crown, P.C. Yang, Y. Chen, M. Vaez- Iravani, Appl. Phys. Lett. 60, 2957 (1992).
  10. S. Wegscheider, A. Kirsch, J. Mlynek and G. Krausch, "Scanning near-field optical lithography", Thin solid films, in press.
  11. W. Straub, R. Brenn, G. Krausch, A. Kirsch, H. Bielefeldt, O. Marti, J. Mlynek, and J.F. Marko, "Transient wetting and 2D spinodal decomposition in a binary polymer blend", Europhys. Lett., in press.2
  12. J. Mertz, M. Hipp, J. Mlynek and O. Marti, "Optical near- field imaging with a semiconductor probe tip", Appl. Phys. Lett. 64, 2338-2340 (1994).
  13. Lewis and Kopelmann, in Proc. NFO1 NATO ASI Series E 242, eds. D.W. Pohl and D. Courjon (1993).
  14. J.D. Pedarnig, M. Specht, M. Heckl, and T.W. Hänsch, "Scanning plasmon near-field microscope", Proc. NFO1 NATO ASI Series E 242, eds. D.W. Pohl and D. Courjon 273-280 (1993).
  15. R. Berndt, R. Gaisch, W.D. Schneider, J.K. Gimzewski, B. Reihl, R.R. Schlittler, M. Tschudy "Atomic resolution in photon emission induced by a scanning tunneling microscope", Phys. Rev. Lett. 74, 102-105 (1995).
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Othmar Marti Last modified: 28.09.1995; 14:59:00 Uhr

 
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