Untersuchung lithografisch hergestellter Mikrostrukturen

Wie bei der Herstellung dünner Schichten bilden die Basis wieder Glasplättchen mit dünnen Silberfilmen. Auch die Eigenschaften der Silberfilme werden wie bei 1.) bestimmt.
Im Reinraum werden die Proben mit optischer Lithografie strukturiert. Dazu werden die Proben mit Photolack bedeckt. Mit vorhandenen Masken können Linienmuster mit Gitterkonstanten von 100 mm bis 2 mm einbelichtet werden. Nach der Entwicklung des Lacks erhält man eine Oberfläche, die mit Lackstreifen bedeckt ist. Dazwischen befinden sich streifenförmige Silberbereiche gleicher Breite. Diese Streifenstrukturen werden wieder mit der Plasmonenresonanz auf Anregungen hin untersucht. Dabei werden die Abhängigkeit der Resonanzen von der Gitterkonstante und der Ausbreitungsrichtung der Plasmonen bezüglich der Streifenrichtung betrachtet. Weiterhin ist es möglich, eigene Strukturen zu erstellen (evtl. mit 2-dim. Periodizitäten).

Inhalt:

1. Präparation der Silberschichten in einer thermischen Aufdampfanlage
2. Bestimmung der Eigenschaften des Silbers mit der Plasmonenresonanz
3. Anpassung der Meßkurven mit Hilfe eines Simulationsprogramms
4. Herstellung von Mikrostrukturen mittels optischer Lithografie im Reinraum
5. Untersuchung dieser Strukturen mit Plasmonenresonanz
6. Interpretation der Resonanzen und Diskussion des Einflusses der Strukturgröße auf die Resonanz  

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(c) Experimentelle Physik, Universität Ulm 04. Dezember 2001
V.i.S.d.P.: Othmar Marti, Experimentelle Physik, Universität Ulm
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